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提起氖、氦、氪、氙這些稀有氣體，很多人并不熟悉。然而，它們卻在芯片制造等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用，被稱為半導(dǎo)體工業(yè)的“糧食”和“源”。 高純度的氖、氦、氪、氙等稀有氣體，以其稀缺性和提取的高難度，被視為氣體領(lǐng)域的“金字塔”，在世界范圍內(nèi)，至今仍主要由極少數(shù)發(fā)達(dá)國家供應(yīng)。 如此重要的戰(zhàn)略性資源，目前已在阜陽實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)——安徽中科昊海特種氣體科技有限公司的高純特種電子氣體項(xiàng)目首期裝置，已于2021年成功開車，填補(bǔ)了安徽空白，今年以來實(shí)現(xiàn)產(chǎn)值1.9億元。 盛夏時節(jié)，阜陽煤基新材料產(chǎn)業(yè)園內(nèi)，安徽中科昊海特種氣體科技有限公司的兩套全自動化氖氦、氪氙精制裝置正在高速運(yùn)轉(zhuǎn)，每小時能分別生產(chǎn)20標(biāo)方氖氦混合氣體、400標(biāo)方氪氙混合氣體。 阜陽煤基新材料產(chǎn)業(yè)園是安徽省著力打造的特色化工集聚區(qū)之一。近年來，以昊源化工集團(tuán)為龍頭，園區(qū)煤基化工新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展蓬勃?？粗邢∮袣怏w廣闊市場前景和昊源化工豐富的尾氣資源，2019年，安徽中科昊海落戶阜陽煤基新材料產(chǎn)業(yè)園，投資上馬了高純特種電子氣體項(xiàng)目和高端氫能項(xiàng)目。 項(xiàng)目首期建設(shè)的20標(biāo)方/每小時氖氦精制裝置和400標(biāo)方/每小時氪氙精制裝置，已于2021年成功開車。 “我們采用的技術(shù)，依托中科院理化所科研成果，產(chǎn)出的氖、氦、氪、氙稀有氣體產(chǎn)品純度達(dá)99.9999%，填補(bǔ)了安徽省企業(yè)生產(chǎn)稀有氣體的空白?！卑不罩锌脐缓６麻L楊坤介紹，氖、氦、氪、氙這些稀有氣體，在半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛、作用關(guān)鍵。特別是高純度稀有氣體的混合物，在受到高壓激發(fā)后，會產(chǎn)生固定波長的光線，直接關(guān)系晶圓光刻、芯片制造質(zhì)量。 雖然這些稀有氣體具有顯著的戰(zhàn)略性價值，然而，稀有氣體本身就很稀缺，高純度稀有氣體提取更是有著很高的技術(shù)“門檻”。目前在國際上，半導(dǎo)體原料氣體，主要由烏克蘭等國家供應(yīng)，稀有氣體精制提取裝置，也僅有極少數(shù)國家能夠制造。 在先進(jìn)技術(shù)“加持”下，安徽中科昊海迅速打破進(jìn)口依賴、拓寬市場。楊坤介紹，目前，企業(yè)已同三星、鎧俠電子、長江存儲等國內(nèi)外芯片制造企業(yè)建立了穩(wěn)定合作關(guān)系，生產(chǎn)的稀有氣體已占據(jù)國內(nèi)同行業(yè)20%的市場份額。 特別是受俄烏沖突等影響，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈加速本地化，安徽中科昊海的發(fā)展也邁出更快步伐。“去年，我們正式生產(chǎn)僅有不到8個月的時間，但實(shí)現(xiàn)銷售收入7000多萬元，今年上半年更是達(dá)到了1.9億元。” 以先進(jìn)技術(shù)掌控更大“氣場”，安徽中科昊海還在發(fā)力。 今年初，企業(yè)的2000立方米/小時氫氣純化裝置開車成功；另一套1.5噸/日氫氣液化裝置目前也在集成調(diào)試中，預(yù)計下半年可開車。兩個裝置達(dá)產(chǎn)后，既能夠向氫燃料電池汽車加氫站供應(yīng)液氫，又可滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對6N級乃至更高純度氫氣的需求，企業(yè)年產(chǎn)值也有望突破10億元。 楊坤介紹，下一步，企業(yè)將進(jìn)一步搶抓發(fā)展機(jī)遇，在鞏固擴(kuò)大現(xiàn)有產(chǎn)能的基礎(chǔ)上，加快推進(jìn)二期項(xiàng)目建設(shè)，力爭用3年左右時間，成長為稀有氣體行業(yè)的頭部企業(yè)，為緩解高純特種電子氣體進(jìn)口依賴、推動阜陽制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展貢獻(xiàn)更多力量。 |
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